フォトレジスト溶剤回収システム
Thinner Recycle System(TRSシステム)
TRSシステムは真空ポンプから排出された約140℃の溶媒をクールトラップで気体から液体に凝縮し、回収効果を実現します。
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ファシリティ |
要求条件 |
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PCW水温 |
入口：18℃ |
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PCW流量 |
50 LPM |
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電気規格 |
1ψ200V/60Hz |
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電気消費量 |
2.8A |
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Drain Port |
1/2“ |
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設備規格 |
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サイズ |
1300x2400x1600mm |
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騒音音量 |
70 dB(A) |
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送風量 |
5 ~ 30CMM |
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気圧差 |
750Pa |
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回収能力 |
> 60% |
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フィルター規格 |
0.5μm |
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除水機規格 |
8*12 mesh |
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安全措置 |
1.Solvent tank圧力モニターと圧逃し保護装置
2.漏液検査装置
3.アラーム/ライトで稼働状況を表示
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生産国 |
Taiwan |
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