永喬科技有限公司

光阻溶劑回收系統

光阻溶劑回收系統



Thinner Recycle System(TRS系統)

 

TRS系統利用通過真空 PUMP 排出 solvent 溫度約 140℃,經過冷凝器 (Cool Trap),

將 solvent 由氣態冷凝為液態,達到回收效果。

 

 

廠務端需求

條件說明

PCW水溫

入口:18℃

PCW流量

50 LPM

電力規格

1ψ200V/60Hz

耗電量

2.8A

Drain Port

1/2

設備規格

尺寸

1300x2400x1600mm

運轉噪音

70 dB(A)

處理風量

5 ~ 30CMM

設備壓差

750Pa

回收能力(提供計算式)

> 60%

濾心規格

0.5μm

除水器規格

8*12 mesh

安全措施

1.Solvent tank壓力監視與卸壓保護
2.漏液偵測
3.蜂鳴警報/燈號顯式運轉狀態

設備製造地點

Taiwan